ГОСТы
 

ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния



Статус: действующий

21.01.1985
Введение: 01.01.1986
Актуализация текста: 06.04.2015
Актуализация описания: 06.04.2015
Последние изменение: 16.01.2015
Окончания срока действия: 01.01.1970

Список изменений:
№1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»


Сохранить ГОСТ 262398-84 в ZIPСкачать ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
ГОСТ 26239.8-84, страница 1.
ГОСТ 26239.8-84, страница 2.
ГОСТ 26239.8-84, страница 3.
ГОСТ 26239.8-84, страница 4.
ГОСТ 26239.8-84, страница 5.
ГОСТ 26239.8-84, страница 6.
ГОСТ 26239.8-84, страница 7.
ГОСТ 26239.8-84, страница 8.
ГОСТ 26239.8-84, страница 9.