|
|
ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Статус: действующий
Издание: 21.01.1985 Введение: 01.01.1986 Актуализация текста: 06.04.2015 Актуализация описания: 06.04.2015 Последние изменение: 16.01.2015 Окончания срока действия: 01.01.1970
Список изменений: №1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»
Скачать ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
|