|
|
|
ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Статус: действующий
Издание: 04.10.1973
Введение: 31.08.1973
Актуализация текста: 06.04.2015
Актуализация описания: 06.04.2015
Последние изменение: 16.01.2015
Окончания срока действия: 01.01.1970
 Скачать ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
|
