|
|
|
ГОСТ 25662-83
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
: действующий
: 01.06.1984
: 01.01.1984
: 06.04.2015
: 06.04.2015
: 16.01.2015
: 01.01.1970
:
№0 от 30.06.2011 (рег. 21.12.2010) «Поправка к изменению»№1 от 30.09.1984 (рег. 28.04.1984) «Срок действия продлен»№2 от 01.01.1989 (рег. 03.11.1988) «Поправка»
 ГОСТ 25662-83
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
|
