: Технология вакуумная





ГОСТ 5.1807-73

Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции


ГОСТ 24934-81

Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры


ГОСТ 24935-81

Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры


ГОСТ 25196-82

Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования


ГОСТ 25197-82

Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры


ГОСТ 25662-83

Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний


ГОСТ 25663-83

Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний


ГОСТ Р 53177-2008

Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности