| ГОСТ 5.1807-73 Насос геттерно-ионный типа ГИН-0,5-1М. Требования к качеству аттестованной продукции |
|
| ГОСТ 24934-81 Оборудование вакуумное. Фланцы неподвижные винтовые. Основные и присоединительные размеры |
|
| ГОСТ 24935-81 Оборудование вакуумное. Фланцы поворотные винтовые. Основные и присоединительные размеры |
|
| ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования |
|
| ГОСТ 25197-82 Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры |
|
| ГОСТ 25662-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний |
|
| ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний |
|
| ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности |
|