|
|
ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Статус: действующий
Издание: 04.05.1982 Введение: 30.06.1983 Актуализация текста: 06.04.2015 Актуализация описания: 06.04.2015 Последние изменение: 16.01.2015 Окончания срока действия: 01.01.1970
Скачать ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
|