|
|
ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Статус: действующий
Издание: 01.04.2001 Введение: 01.01.1983 Актуализация текста: 06.04.2015 Актуализация описания: 06.04.2015 Последние изменение: 16.01.2015 Окончания срока действия: 01.01.1970
Список изменений: №1 от 01.01.1988 (рег. 29.06.1987) «Срок действия продлен»№2 от 01.01.1993 (рег. 13.05.1992) «Срок действия продлен» Взамен: ГОСТ 19658-74
Скачать ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
|