: Материалы полупроводниковые





ГОСТ 4.64-80

Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей


ГОСТ 2169-69

Кремний технический. Технические условия


ГОСТ 19014.0-73

Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа


ГОСТ 19014.1-73

Кремний кристаллический. Методы определения алюминия


ГОСТ 19014.2-73

Кремний кристаллический. Методы определения железа


ГОСТ 19014.3-73

Кремний кристаллический. Методы определения кальция


ГОСТ 19014.4-73

Кремний кристаллический. Методы определения титана


ГОСТ 19658-81

Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия


ГОСТ 26239.0-84

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа


ГОСТ 26239.1-84

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей


ГОСТ 26239.2-84

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора


ГОСТ 26239.3-84

Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора


ГОСТ 26239.5-84

Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей


ГОСТ 26239.6-84

Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана


ГОСТ 26239.7-84

Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота


ГОСТ 26239.8-84

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния