| ГОСТ 4.64-80 Система показателей качества продукции. Полупроводниковые материалы. Номенклатура показателей |
|
| ГОСТ 2169-69 Кремний технический. Технические условия |
|
| ГОСТ 19014.0-73 Кремний кристаллический. Общие требования к методам химического анализа |
|
| ГОСТ 19014.1-73 Кремний кристаллический. Методы определения алюминия |
|
| ГОСТ 19014.2-73 Кремний кристаллический. Методы определения железа |
|
| ГОСТ 19014.3-73 Кремний кристаллический. Методы определения кальция |
|
| ГОСТ 19014.4-73 Кремний кристаллический. Методы определения титана |
|
| ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия |
|
| ГОСТ 26239.0-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа |
|
| ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
|
| ГОСТ 26239.2-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения бора |
|
| ГОСТ 26239.3-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора |
|
| ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей |
|
| ГОСТ 26239.6-84 Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана |
|
| ГОСТ 26239.7-84 Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота |
|
| ГОСТ 26239.8-84 Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
|