|
|
|
ГОСТ 26239.0-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
Статус: действующий
Издание: 21.01.1985
Введение: 01.01.1986
Актуализация текста: 06.04.2015
Актуализация описания: 06.04.2015
Последние изменение: 16.01.2015
Окончания срока действия: 01.01.1970
 Скачать ГОСТ 26239.0-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
Настоящий стандарт устанавливает общие требования к методам анализа полупроводникового кремния, исходных продуктов для его получения ( технический кремний, четыреххлористый кремний, хлорсиланы, двуокись кремния) и кварца
|
