|
|
ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Статус: действующий
Издание: 21.01.1985 Введение: 01.01.1986 Актуализация текста: 06.04.2015 Актуализация описания: 06.04.2015 Последние изменение: 16.01.2015 Окончания срока действия: 01.01.1970
Список изменений: №1 от 01.01.1991 (рег. 25.06.1990) «Срок действия продлен»
Скачать ГОСТ 26239.1-84 Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
|